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      技術(shù)文章

      1200℃立式管式氣氛爐

      技術(shù)文章

      AFD系列立式管式氣氛爐的*設(shè)計能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實驗需要!

      1200℃立式管式氣氛爐適用范圍:

       立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

      1200℃立式管式氣氛爐技術(shù)參數(shù):

      產(chǎn)品名稱

      1200度立式管式氣氛爐

      產(chǎn)品型號

      AFD1200-50

      爐管尺寸

      Φ50×1000mm

      溫區(qū)長度

      440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)


      恒溫區(qū)長
       

      200mm

      工作溫度

      1100℃(此溫度為加熱溫度)

      高溫度

      1200℃

      控溫方式

      智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

      控溫度

      ±1℃

      溫控保護

      具有超溫和斷偶保護功能

      加熱速率

      0~20℃/分

      加熱元件

      含鉬合金加熱絲

      工作電壓

      AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

      大功率

      3KW

      爐膛材料

      采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強

      法蘭接頭

      標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。

      密封系統(tǒng)

      該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

      真  空 度

      雙旋片機械泵:10^-2 torr
      分子泵機組:10^-5 torr


      供氣系統(tǒng)
       

      該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速。


      爐管材質(zhì)
       

      氣煉石英管


      氣  密  性
       

      4.03×10-3Pa

      測溫元件

      K型熱電偶測溫

      凈       重

      70KG

      提供相關(guān)配件

      氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞


      電氣認(rèn)證
       

      CE認(rèn)證


      售后服務(wù)
       

      12個月質(zhì)保、終身保修

      聯(lián)


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